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Zeichnen eines linearen Prozesskugeldiagramms

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Zeichnen eines linearen Prozesskugeldiagramms

Weiß jemand, wie man ein einfaches Prozessablaufdiagramm wie dieses zeichnet?Einfaches Prozessflussdiagramm

Antwort1

Nun, wenn Sie wirklich wollten, könnten Sie es als Baum zeichnen. Der Inhalt der Knoten wird schamlos übernommen ausAntwort von R. Schumacher.

Hier ist ein Beispiel mit forest.

Baum-Zeitleiste

\documentclass[tikz,border=5pt]{standalone}
\usepackage{forest}
\usetikzlibrary{arrows.meta}

\begin{document}

  \begin{forest}
    for tree={
      delay={
        label/.wrap pgfmath arg={[font=\sffamily, anchor=west]right:#1}{content()},
        content={},
        circle,
        fill,
        inner sep=1.5pt,
        parent anchor=center,
        child anchor=center
      },
      edge={thick},
      if n children=0{
        l sep+=-15pt,
        append={
          [, edge={thick, -{Triangle[]}}]
        }
      }{}
    }
    [{Ge(100nm)--on--Si substrate}
      [{Hydrogen ion Shower Doping}
        [{Native Oxide Removal (HF:H$_2$O-1:100, 30 sec)}
          [{Ni /TiN (10 nm/10 nm) Deposition}
            [{RTP for germanidation (400$^o$C, 30 sec)}
              [{Post-germanidation Annealing}]]]]]]
  \end{forest}

\end{document}

Antwort2

Dies ist eine nahe Version dessen, was Sie wollen. Ich habe den Code von geändertWie können Sie eine vertikale Zeitleiste erstellen? Das einzige, was fehlt, ist der untere Pfeil (darüber denke ich noch nach)

\documentclass{article}
\usepackage[T1]{fontenc}
\usepackage[utf8]{inputenc}
\usepackage{charter}
\usepackage{environ}
\usepackage{tikz}
\usetikzlibrary{calc,matrix}

% code by Andrew:
% https://tex.stackexchange.com/a/28452/13304
\makeatletter
\let\matamp=&
\catcode`\&=13
\makeatletter
\def&{\iftikz@is@matrix
  \pgfmatrixnextcell
  \else
  \matamp
  \fi}
\makeatother

\newcounter{lines}
\def\endlr{\stepcounter{lines}\\}

\newcounter{vtml}
\setcounter{vtml}{0}

\newif\ifvtimelinetitle
\newif\ifvtimebottomline
\tikzset{description/.style={
  column 2/.append style={#1}
 },
 timeline color/.store in=\vtmlcolor,
 timeline color=red!80!black,
 timeline color st/.style={fill=\vtmlcolor,draw=\vtmlcolor},
 use timeline header/.is if=vtimelinetitle,
 use timeline header=false,
 add bottom line/.is if=vtimebottomline,
 add bottom line=false,
 timeline title/.store in=\vtimelinetitle,
 timeline title={},
 line offset/.store in=\lineoffset,
 line offset=4pt,
}

\NewEnviron{vtimeline}[1][]{%
\setcounter{lines}{1}%
\stepcounter{vtml}%
\begin{tikzpicture}[column 1/.style={anchor=east},
 column 2/.style={anchor=west},
 text depth=0pt,text height=1ex,
 row sep=1ex,
 column sep=1em,
 #1
]
\matrix(vtimeline\thevtml)[matrix of nodes]{\BODY};
\pgfmathtruncatemacro\endmtx{\thelines-1}
\path[timeline color st] 
($(vtimeline\thevtml-1-1.north east)!0.5!(vtimeline\thevtml-1-2.north west)$)--
($(vtimeline\thevtml-\endmtx-1.south east)!0.5!(vtimeline\thevtml-\endmtx-2.south west)$);
\foreach \x in {1,...,\endmtx}{
 \node[circle,timeline color st, inner sep=0.15pt, draw=white, thick] 
 (vtimeline\thevtml-c-\x) at 
 ($(vtimeline\thevtml-\x-1.east)!0.5!(vtimeline\thevtml-\x-2.west)$){};
 \draw[timeline color st](vtimeline\thevtml-c-\x.west)--++(-3pt,0);
 }
 \ifvtimelinetitle%
  \draw[timeline color st]([yshift=\lineoffset]vtimeline\thevtml.north west)--
  ([yshift=\lineoffset]vtimeline\thevtml.north east);
  \node[anchor=west,yshift=16pt,font=\large]
   at (vtimeline\thevtml-1-1.north west) 
%   {\textsc{Timeline \thevtml}: \textit{\vtimelinetitle}};% Original line
   {\textit{\vtimelinetitle}};% Modified Line
 \else%
  \relax%
 \fi%
 \ifvtimebottomline%
   \draw[timeline color st]([yshift=-\lineoffset]vtimeline\thevtml.south west)--
  ([yshift=-\lineoffset]vtimeline\thevtml.south east);
 \else%
   \relax%
 \fi%
\end{tikzpicture}
}

\begin{document}

\begin{vtimeline}[description={text width=10cm}, 
 row sep=2ex, 
 use timeline header,
 timeline title={Simple Process Flow Ball Diagram}]
\quad  & Ge(100nm)--on--Si substrate\endlr
\quad  & Hydrogen ion Shower Doping\endlr
\quad  & Native Oxide Removal (HF:H$_2$O-1:100, 30 sec)\endlr
\quad  & Ni /TiN (10 nm/10 nm) Deposition\endlr
\quad  & RTP for germanidation (400$^o$C, 30 sec)\endlr
\quad  & Post-germanidation Annealing\endlr
\end{vtimeline}

\end{document}

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