
나는 이 테이블들을 나란히(또는 적어도 적절한 형식으로) 배치하는 방법을 알아내려고 노력 중입니다.
\begin{table}
\caption{Initial measurement of photoresist step heights for $15$ and $30$ wafers ($A^\circ$)}
\label{tab:fonts}
\begin{center}
\begin{minipage}[b]{0.33\linewidth}\centering
\begin{tabular}{|l|l|} %% this creates two columns
%% |l|l| to left justify each column entry
%% |c|c| to center each column entry
%% use of \rule[]{}{} below opens up each row
\hline
\rule[-1ex]{0pt}{3.5ex} wafer $1$ & 1.4725 \\
\hline
\rule[-1ex]{0pt}{3.5ex} wafer $3$ & 1.4725 \\
\hline
\rule[-1ex]{0pt}{3.5ex} wafer $6$ & 1.495 \\
\hline
\rule[-1ex]{0pt}{3.5ex} wafer $14$ & 1.492 \\
\hline
\rule[-1ex]{0pt}{3.5ex} wafer $16$ & 1.465\\
\hline
\rule[-1ex]{0pt}{3.5ex} wafer $20$ & 1.2525 \\
\hline
\end{tabular}
\end{minipage}
\end{center}
\end{table}
\begin{table}
\caption{Post etch measurement of photoresist step heights for $15$ (4 mins) and $30$ (6 mins) wafers ($A^\circ$)}
\label{tab:fonts}
\begin{center}
\begin{tabular}{|l|l|} %% this creates two columns
%% |l|l| to left justify each column entry
%% |c|c| to center each column entry
%% use of \rule[]{}{} below opens up each row
\hline
\rule[-1ex]{0pt}{3.5ex} wafer $1$ & 1.5875 \\
\hline
\rule[-1ex]{0pt}{3.5ex} wafer $3$ & 1.575 \\
\hline
\rule[-1ex]{0pt}{3.5ex} wafer $6$ & 1.5925 \\
\hline
\rule[-1ex]{0pt}{3.5ex} wafer $14$ & 1.66 \\
\hline
\rule[-1ex]{0pt}{3.5ex} wafer $16$ & 1.63\\
\hline
\rule[-1ex]{0pt}{3.5ex} wafer $20$ & 1.4625 \\
\hline
\end{tabular}
\end{center}
\end{table}
\FloatBarrier
\begin{table} [h]
\caption{Post SPM treatment ($nm$)}
\label{tab:fonts}
\begin{center}
\begin{tabular}{|l|l|} %% this creates two columns
%% |l|l| to left justify each column entry
%% |c|c| to center each column entry
%% use of \rule[]{}{} below opens up each row
\hline
\rule[-1ex]{0pt}{3.5ex} wafer $1$ & 142.5 \\
\hline
\rule[-1ex]{0pt}{3.5ex} wafer $3$ & 142.5 \\
\hline
\rule[-1ex]{0pt}{3.5ex} wafer $6$ & 132.5 \\
\hline
\rule[-1ex]{0pt}{3.5ex} wafer $14$ & 190 \\
\hline
\rule[-1ex]{0pt}{3.5ex} wafer $16$ & 197.5\\
\hline
\rule[-1ex]{0pt}{3.5ex} wafer $20$ & 192.5 \\
\hline
\end{tabular}
\end{center}
\end{table}
\FloatBarrier
질문의 두 번째 부분:
\begin{table}
\caption{Measurement of oxide thickness for blank wafer before etch (pre etch)} \label{tab:1}
\label{tab:fonts}
\begin{center}
\begin{minipage}[b]{0.33\linewidth}\centering
\begin{tabular}{|l|l|} %% this creates two columns
%% |l|l| to left justify each column entry
%% |c|c| to center each column entry
%% use of \rule[]{}{} below opens up each row
\hline
\rule[-1ex]{0pt}{3.5ex} center & 5114 $A^\circ$ \\
\hline
\rule[-1ex]{0pt}{3.5ex} top & 5236 $A^\circ$ \\
\hline
\rule[-1ex]{0pt}{3.5ex} right & 5196$A^\circ$ \\
\hline
\rule[-1ex]{0pt}{3.5ex} bottom & 5156$A^\circ$ \\
\hline
\rule[-1ex]{0pt}{3.5ex} left & 5211$A^\circ$ \\
\hline
\end{tabular}
\end{minipage}
\end{center}
\end{table}
\begin{table}
\caption{Measurement of oxide thickness for blank wafer after etch (post etch)} \label{tab:2}
\label{tab:fonts}
\begin{center}
\begin{minipage}[b]{0.33\linewidth}\centering
\begin{tabular}{|l|l|} %% this creates two columns
%% |l|l| to left justify each column entry
%% |c|c| to center each column entry
%% use of \rule[]{}{} below opens up each row
\hline
\rule[-1ex]{0pt}{3.5ex} center & 3088 $A^\circ$ \\
\hline
\rule[-1ex]{0pt}{3.5ex} top & 3154 $A^\circ$ \\
\hline
\rule[-1ex]{0pt}{3.5ex} right & 3133$A^\circ$ \\
\hline
\rule[-1ex]{0pt}{3.5ex} bottom & 3043$A^\circ$ \\
\hline
\rule[-1ex]{0pt}{3.5ex} left & 3112$A^\circ$ \\
\hline
\end{tabular}
\end{minipage}
\end{center}
\end{table}
답변1
이 floatrow
패키지를 사용하면 캡션을 맨 윗줄에 따라 쉽게 정렬할 수 있습니다. 행에 패딩을 추가하기 위해 보이지 않는 규칙을 추가할 필요가 없습니다. cellspace
패키지를 사용하면 행과 셀 위와 아래 사이에 최소 수직 간격을 정의할 수 있습니다.
\documentclass[11pt]{article}
\usepackage[utf8]{inputenc}
\usepackage[showframe]{geometry}
\usepackage{caption, floatrow,cellspace}
\setlength\cellspacetoplimit{5pt}
\setlength\cellspacebottomlimit{5pt}
\DeclareFloatSeparators{mysep}{\hskip1.6em}
\begin{document}
\captionsetup{font=footnotesize}
\floatsetup{floatrowsep=mysep, capposition=TOP, captionskip =1.5ex}
\begin{table}[!hbt]
\begin{floatrow}[3]
\ttabbox[1.5\FBwidth]{\caption{Initial measurement of photoresist step heights for $15$ and $30$ wafers (\AA)}
\label{tab:fontsa}}%
{\begin{tabular}{|Sl|l|}
\hline
wafer $1$ & 1.4725 \\ \hline
wafer $3$ & 1.4725 \\ \hline
wafer $6$ & 1.495 \\ \hline
wafer $14$ & 1.492 \\ \hline
wafer $16$ & 1.465 \\ \hline
wafer $20$ & 1.2525 \\ \hline
\end{tabular}}%
\hfill%
\ttabbox[1.5\FBwidth]{\caption{Post etch measurement of photoresist step heights for $15$ (4 mins) and $30$ (6 mins) wafers (\AA)}%
\label{tab:fontsb}}%
{\begin{tabular}{|Sl|l|}
\hline
wafer $1$ & 1.5875 \\ \hline
wafer $3$ & 1.575 \\ \hline
wafer $6$ & 1.5925 \\ \hline
wafer $14$ & 1.66\\ \hline
wafer $16$ & 1.63 \\ \hline
wafer $20$ & 1.4625 \\ \hline
\end{tabular}}
%
\ttabbox{\caption{Post SPM treat\-ment ($nm$)} \label{tab:fonts3}}
{ \begin{tabular}{|Sl|l|} %% this creates two columns
%% |l|l| to left justify each column entry
%% |c|c| to center each column entry
%% use of \rule[]{}{} below opens up each row
\hline
wafer $1$ & 142.5 \\ \hline
wafer $3$ & 142.5 \\ \hline
wafer $6$ & 132.5 \\ \hline
wafer $14$ & 190 \\ \hline
wafer $16$ & 197.5 \\ \hline
wafer $20$ & 192.5 \\ \hline
\end{tabular}}%
\end{floatrow}
\end{table}
\end{document}
답변2
당신은 다음과 같은 것을 갖고 싶습니까?
위 그림은 다음에 의해 생성됩니다.
\documentclass{article}
\usepackage{siunitx}
\begin{document}
\begin{table}
\begin{minipage}[b]{0.3\linewidth}\centering
\caption{Initial measurement of photoresist step heights for $15$ and $30$ wafers ($A^\circ$)}
\label{tab:fonts}
\begin{tabular}{|l|S[table-format=2.5]|}
\hline
wafer $1$ & 1.4725 \\ \hline
wafer $3$ & 1.4725 \\ \hline
wafer $6$ & 1.495 \\ \hline
wafer $14$ & 1.492 \\ \hline
wafer $16$ & 1.465 \\ \hline
wafer $20$ & 1.2525 \\ \hline
\end{tabular}
\end{minipage}
\hfill
\begin{minipage}[b]{0.3\linewidth}\centering
\caption{Post etch measurement of photoresist step heights for $15$ (4 mins) and $30$ (6 mins) wafers ($A^\circ$)}
\label{tab:fonts}
\begin{tabular}{|l|S[table-format=2.5]|}
\hline
wafer $1$ & 1.5875 \\ \hline
wafer $3$ & 1.575 \\ \hline
wafer $6$ & 1.5925 \\ \hline
wafer $14$ & 1.66 \\ \hline
wafer $16$ & 1.63 \\ \hline
wafer $20$ & 1.4625 \\ \hline
\end{tabular}
\end{minipage}
\hfill
\begin{minipage}[b]{0.3\linewidth}\centering
\caption{Post SPM treatment ($nm$)}
\label{tab:fonts}
\begin{tabular}{|l|S[table-format=4.2]|}
\hline
wafer $1$ & 142.5 \\ \hline
wafer $3$ & 142.5 \\ \hline
wafer $6$ & 132.5 \\ \hline
wafer $14$ & 190 \\ \hline
wafer $16$ & 197.5 \\ \hline
wafer $20$ & 192.5 \\ \hline
\end{tabular}
\end{minipage}
\end{table}
\end{document}
MWE에서 의 역할은 \rule[-1ex]{0pt}{3.5ex}
로 대체되어 \renewcommand{\arraystretch}{1.3}
이전과 비슷한 셀 높이를 만들었습니다. "미니 페이지", "센터" 환경 및 \centering
. 이 코드를 모두 지우고 명령을 minipages
중심으로 한 테이블이 3개로 구성됩니다 \centering
.
이 외에도 테이블에 숫자를 더 잘 입력하기 위해 패키지를 추가 siunitx
하고 해당 열 유형을 사용합니다 .S
메모: 자막 서식에는 신경쓰지 않았습니다.
부록: 추가된 질문의 두 번째 부분에 대한 DIY 서비스를 수행해 보겠습니다(MikTeX 설치를 복구한 후 몇 시간 후에 원하는 대로 다시 작동하므로 이 작업을 수행합니다...). 코드는 다음과 같습니다
\begin{table}
\centering
\renewcommand{\arraystretch}{1.3}
\begin{minipage}[b]{0.33\linewidth}\centering
\caption{Measurement of oxide thickness for blank wafer before etch (pre etch)} \label{tab:1}
\label{tab:fonts}
\begin{tabular}{|l|S[table-format=5.0,
table-space-text-post=\si{\angstrom}]<{\si{\angstrom}\ }|}
\hline
center & 5114 \\ \hline
top & 5236 \\ \hline
right & 5196 \\ \hline
bottom & 5156 \\ \hline
left & 5211 \\ \hline
\end{tabular}
\end{minipage}
\hfil
\begin{minipage}[b]{0.33\linewidth}\centering
\caption{Measurement of oxide thickness for blank wafer after etch (post etch)} \label{tab:2}
\label{tab:fonts}
\begin{tabular}{|l|S[table-format=5.0,
table-space-text-post=\si{\angstrom}]<{\si{\angstrom}\ }|}
\hline
center & 3088 \\ \hline
top & 3154 \\ \hline
right & 3133 \\ \hline
bottom & 3043 \\ \hline
left & 3112 \\ \hline
\end{tabular}
\end{minipage}
\end{table}
위의 코드에서 $A^\circ$는 Angstrom 단위를 의미한다고 가정합니다. 나는 insiunitx` 패키지에 정의된 대로 표준화된 표기법을 사용합니다(첫 번째 테이블에서는 고려되지 않았습니다).
결과: