☰

Чертеж линейной диаграммы процесса шара

tag-icon • tag-icon diagrams
Чертеж линейной диаграммы процесса шара

Кто-нибудь знает, как нарисовать простую схему технологического процесса?Простая схема технологического процесса

решение1

Ну, если бы вы действительно хотели, вы могли бы нарисовать это как дерево. Содержимое узлов бесстыдно взято изОтвет Р. Шумахера.

Вот пример использования forest.

дерево временная шкала

\documentclass[tikz,border=5pt]{standalone}
\usepackage{forest}
\usetikzlibrary{arrows.meta}

\begin{document}

  \begin{forest}
    for tree={
      delay={
        label/.wrap pgfmath arg={[font=\sffamily, anchor=west]right:#1}{content()},
        content={},
        circle,
        fill,
        inner sep=1.5pt,
        parent anchor=center,
        child anchor=center
      },
      edge={thick},
      if n children=0{
        l sep+=-15pt,
        append={
          [, edge={thick, -{Triangle[]}}]
        }
      }{}
    }
    [{Ge(100nm)--on--Si substrate}
      [{Hydrogen ion Shower Doping}
        [{Native Oxide Removal (HF:H$_2$O-1:100, 30 sec)}
          [{Ni /TiN (10 nm/10 nm) Deposition}
            [{RTP for germanidation (400$^o$C, 30 sec)}
              [{Post-germanidation Annealing}]]]]]]
  \end{forest}

\end{document}

решение2

Это близкая версия того, что вы хотите. Я изменил код изКак создать вертикальную временную шкалу? Единственное, чего не хватает, так это нижней стрелки (все еще думаю об этом)

\documentclass{article}
\usepackage[T1]{fontenc}
\usepackage[utf8]{inputenc}
\usepackage{charter}
\usepackage{environ}
\usepackage{tikz}
\usetikzlibrary{calc,matrix}

% code by Andrew:
% https://tex.stackexchange.com/a/28452/13304
\makeatletter
\let\matamp=&
\catcode`\&=13
\makeatletter
\def&{\iftikz@is@matrix
  \pgfmatrixnextcell
  \else
  \matamp
  \fi}
\makeatother

\newcounter{lines}
\def\endlr{\stepcounter{lines}\\}

\newcounter{vtml}
\setcounter{vtml}{0}

\newif\ifvtimelinetitle
\newif\ifvtimebottomline
\tikzset{description/.style={
  column 2/.append style={#1}
 },
 timeline color/.store in=\vtmlcolor,
 timeline color=red!80!black,
 timeline color st/.style={fill=\vtmlcolor,draw=\vtmlcolor},
 use timeline header/.is if=vtimelinetitle,
 use timeline header=false,
 add bottom line/.is if=vtimebottomline,
 add bottom line=false,
 timeline title/.store in=\vtimelinetitle,
 timeline title={},
 line offset/.store in=\lineoffset,
 line offset=4pt,
}

\NewEnviron{vtimeline}[1][]{%
\setcounter{lines}{1}%
\stepcounter{vtml}%
\begin{tikzpicture}[column 1/.style={anchor=east},
 column 2/.style={anchor=west},
 text depth=0pt,text height=1ex,
 row sep=1ex,
 column sep=1em,
 #1
]
\matrix(vtimeline\thevtml)[matrix of nodes]{\BODY};
\pgfmathtruncatemacro\endmtx{\thelines-1}
\path[timeline color st] 
($(vtimeline\thevtml-1-1.north east)!0.5!(vtimeline\thevtml-1-2.north west)$)--
($(vtimeline\thevtml-\endmtx-1.south east)!0.5!(vtimeline\thevtml-\endmtx-2.south west)$);
\foreach \x in {1,...,\endmtx}{
 \node[circle,timeline color st, inner sep=0.15pt, draw=white, thick] 
 (vtimeline\thevtml-c-\x) at 
 ($(vtimeline\thevtml-\x-1.east)!0.5!(vtimeline\thevtml-\x-2.west)$){};
 \draw[timeline color st](vtimeline\thevtml-c-\x.west)--++(-3pt,0);
 }
 \ifvtimelinetitle%
  \draw[timeline color st]([yshift=\lineoffset]vtimeline\thevtml.north west)--
  ([yshift=\lineoffset]vtimeline\thevtml.north east);
  \node[anchor=west,yshift=16pt,font=\large]
   at (vtimeline\thevtml-1-1.north west) 
%   {\textsc{Timeline \thevtml}: \textit{\vtimelinetitle}};% Original line
   {\textit{\vtimelinetitle}};% Modified Line
 \else%
  \relax%
 \fi%
 \ifvtimebottomline%
   \draw[timeline color st]([yshift=-\lineoffset]vtimeline\thevtml.south west)--
  ([yshift=-\lineoffset]vtimeline\thevtml.south east);
 \else%
   \relax%
 \fi%
\end{tikzpicture}
}

\begin{document}

\begin{vtimeline}[description={text width=10cm}, 
 row sep=2ex, 
 use timeline header,
 timeline title={Simple Process Flow Ball Diagram}]
\quad  & Ge(100nm)--on--Si substrate\endlr
\quad  & Hydrogen ion Shower Doping\endlr
\quad  & Native Oxide Removal (HF:H$_2$O-1:100, 30 sec)\endlr
\quad  & Ni /TiN (10 nm/10 nm) Deposition\endlr
\quad  & RTP for germanidation (400$^o$C, 30 sec)\endlr
\quad  & Post-germanidation Annealing\endlr
\end{vtimeline}

\end{document}

введите описание изображения здесь

Связанный контент